1. Substrato ceramico
Il carburo di silicio ha un ampio divario energetico, elevata stabilità termica e buona conduttività termica, può essere utilizzato per produrre substrato per celle fotovoltaiche.
2. Vassoio per wafer in ceramica
Le ceramiche in allumina e carburo di silicio hanno resistenza alle alte temperature e all'usura, possono essere utilizzate per produrre vassoio per trasportare wafer per vari processi, come RTA (Rapid Thermal Annealing), PVD (Physical vapor Deposizione), ICP (plasma accoppiato induttivamente), CMP (lucidatura chimico-meccanica), per ottenere un buon effetto di elaborazione e un'elevata efficienza;
3. Mandrino a vuoto in ceramica
Le ceramiche in allumina e carburo di silicio hanno una buona finitura superficiale, con una forte forza di assorbimento quando viene applicata il pompaggio dell'aria, inoltre il mandrino a vuoto in ceramica ha una resistenza alle alte temperature e ampiamente utilizzato per assorbire e trasferire wafer durante il processo di produzione ;
4. Barca per wafer e staffa per barca
Il carburo di silicio e il quarzo hanno resistenza alle alte temperature e buona resistenza all'usura, inoltre la densità è bassa e il peso è leggero, sono adatti per produrre barca per wafer e staffa per barca, per trasportare il wafer per il trattamento di diffusione e ossidazione in un forno a diffusione.
5. Tubo del forno a diffusione
Il tubo al quarzo ha resistenza alle alte temperature ed eccellente stabilità termica, può essere utilizzato come tubo del forno a diffusione, per il processo di diffusione e ossidazione del wafer di silicio delle celle solari.