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AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck

Mandrino elettrostatico in ceramica al nitruro di alluminio

Il mandrino elettrostatico ceramico in nitruro di alluminio (ESC, E-Chuck) è un tipo di dispositivo che applica il principio dell'adsorbimento elettrostatico per trattenere e fissare l'oggetto adsorbito, che è adatto per l'ambiente di vuoto e plasma, la funzione principale è quella di assorbire fogli sottili (come come wafer, celle solari, ecc.) nel processo di trasporto e fissaggio, può far sì che gli oggetti adsorbiti mantengano un'elevata planarità e prevengano la loro deformazione.

  • Marca:

    ATCERA

  • Articolo n.:

    AT-AIN-JD1001

  • Materiali

    Aluminum Nitride (AlN) Ceramic

  • Forme

    Mechanical Parts

  • Applicazioni

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
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Aluminum nitride ceramic electrostatic chuck

Proprietà di Nitruro di alluminio Mandrino elettrostatico

1. Il mandrino elettrostatico ceramico in nitruro di alluminio ha un ampio intervallo di temperature di esercizio, una forte forza di adsorbimento e può essere regolato, adatto a una varietà di requisiti di processo diversi;

2. La superficie del mandrino ceramico in nitruro di alluminio è liscia e con elevata planarità, la forza di adsorbimento è uniforme e gli oggetti adsorbiti possono mantenere un'elevata planarità e migliorare la qualità della lavorazione;

3. Il mandrino in ceramica al nitruro di alluminio è resistente alle alte temperature, alla corrosione acida e alcalina, con buona applicabilità e lunga durata.

Aluminum nitride electrostatic chuck

Applicazioni di AlN Mandrino elettrostatico

Il mandrino elettrostatico ceramico in nitruro di alluminio è un tipo di strumento di fissaggio ad adsorbimento, utilizzato nelle industrie dei semiconduttori e delle celle solari per il processo di produzione. È uno dei componenti principali delle apparecchiature di incisione, delle apparecchiature PVD, delle apparecchiature PECVD, delle apparecchiature per l'impianto di ioni, ecc.

Progettazione di personalizzazione per Mandrino elettrostatico in ceramica al nitruro di alluminio

Ci impegniamo a fornire mandrini elettrostatici in nitruro di alluminio di prima qualità su misura per le vostre precise specifiche. Il nostro team dedicato garantisce un rispetto meticoloso delle vostre istruzioni, sforzandosi di superare le aspettative dei clienti. Inoltre, offriamo la flessibilità di dimensioni personalizzate per soddisfare le vostre esigenze specifiche.

Fornire i requisiti di disegno e parametri.

Rugosità superficiale: Ra0.2

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Piastra rettangolare in nitruro di alluminio pressato a caldo
Articolo n. Massimo. Lunghezza (mm) Massimo. Larghezzaï¼mm) Massimo. Altezzaï¼mm)
AT-AIN-RY1001 ï¼500 ï¼500 ï¼350

Piastra rotonda in nitruro di alluminio pressato a caldo
Articolo n. Massimo. Diametro esterno (mm) Massimo. Altezza (mm)
AT-AIN-RY2001 ï¼500 ï¼500

Dati tecnici di AlluminioMateriali in nitruro

Tipo AlN ALN-170 ALN-200
 ALN-230
Densità (g/cm3) 3.3 3.28 3,25
Resistenza alla flessione (MPa) 450 400 350
Modulo di Young (GPa) 320 / /
Durezza (Hv) 1100 1100
 1100
Resistenza alla frattura (MPa*m1/2) 3 2.6 2.4
Temperatura massima di esercizio (â) 1100 1100
 1100
Conduttività termica (W/m*K) 180 200
 230
Coefficiente di dilatazione termica (/â) 4*10-6 4*10-6
 4*10-6
Costante dielettrica (a 1 MHz) 9 8,7
 8,5
Tensione di rottura (kV/mm) >15 >15
 >15

*Questa tabella illustra le caratteristiche standard dei materiali in nitruro di alluminio comunemente utilizzati nella produzione dei nostri prodotti e componenti AlN. Tieni presente che le caratteristiche dei prodotti e dei componenti personalizzati in nitruro di alluminio possono variare a seconda dei processi specifici coinvolti. I parametri dettagliati vengono decisi in base al tipo e alla composizione dell'agente stabilizzante.

Informazioni preziose

Aluminum Nitride Ceramic Electrostatic Chuck Packing

Mandrino elettrostatico ceramico in nitruro di alluminio Imballaggio

I mandrini elettrostatici in nitruro di alluminio sono accuratamente imballati in contenitori adeguati per evitare potenziali danni.

Vantaggi della personalizzazione
Vantaggi della personalizzazione

1. In base al tuo scenario applicativo, analizza le esigenze, scegli il materiale e il piano di lavorazione appropriati.

2. Un team di professionisti, risposta rapida, può fornire soluzioni e preventivi entro 24 ore dalla conferma della richiesta.

3. Meccanismo flessibile di cooperazione aziendale, supporta almeno un pezzo di personalizzazione della quantità.

4. Fornisci rapidamente campioni e rapporti di prova per confermare che il prodotto soddisfa le tue esigenze.

5. Fornire suggerimenti sull'uso e la manutenzione del prodotto per ridurre i costi di utilizzo.

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Domande frequenti

Sebbene il nostro focus principale sia sui materiali ceramici avanzati come allumina, zirconia, carburo di silicio, nitruro di silicio, nitruro di alluminio e ceramica al quarzo, esploriamo sempre nuovi materiali e tecnologie. Se hai un requisito materiale specifico, contattaci e faremo del nostro meglio per soddisfare le tue esigenze o trovare partner adatti.

Assolutamente. Il nostro team tecnico possiede una profonda conoscenza dei materiali ceramici e una vasta esperienza nella progettazione del prodotto. Siamo lieti di fornirti consulenza sulla selezione dei materiali e supporto nella progettazione del prodotto per garantire prestazioni ottimali per i tuoi prodotti.

Non abbiamo un requisito di valore minimo fisso dell'ordine. Ci concentriamo sempre sulla soddisfazione delle esigenze dei nostri clienti e ci impegniamo a fornire servizi e prodotti di qualità indipendentemente dalle dimensioni dell'ordine.

Oltre ai prodotti ceramici, forniamo anche una serie di servizi aggiuntivi, tra cui ma non limitati a: servizi di lavorazione ceramica personalizzati in base alle vostre esigenze, utilizzando grezzi o semilavorati grezzi di vostra produzione; se sei interessato a servizi di imballaggio ceramico e metallizzazione in outsourcing, contattaci per ulteriori discussioni. Ci impegniamo sempre a fornirti una soluzione unica per soddisfare le tue diverse esigenze.

Sì, lo sappiamo. Non importa dove ti trovi nel mondo, possiamo garantire la consegna sicura e tempestiva del tuo ordine.

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