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La produzione di semiconduttori è la pietra angolare dello sviluppo della scienza e della tecnologia moderne, con la continua ricerca da parte del settore di circuiti integrati più piccoli, più veloci e più efficienti, anche la precisione e la complessità tecnica del processo di produzione sono in aumento, ogni passaggio è inseparabile dalle alte prestazioni , apparecchiature per semiconduttori di alta qualità e precisione. Essendo un materiale ceramico strutturale con prestazioni eccellenti, il carburo di silicio (SiC) ha le caratteristiche di alta densità, elevata conduttività termica, elevata resistenza alla flessione, elevato modulo elastico, forte resistenza alla corrosione, resistenza alle alte temperature, ecc. Non è facile produrre flessioni deformazione da stress e sollecitazione termica e può adattarsi alla forte corrosione e all'ambiente di reazione a temperatura ultraelevata dell'epitassia dei wafer, dell'incisione e di altri collegamenti di produzione. Pertanto, è stato ampiamente utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori come la macinazione e la lucidatura, il trattamento termico epitassiale/ossidazione/diffusione, la litografia, la deposizione, l'attacco e l'impianto ionico.

La produzione di wafer è inseparabile dai processi di ossidazione, diffusione, ricottura, lega e altri processi di trattamento termico e le apparecchiature a semiconduttore utilizzate nel processo di trattamento termico dispongono di forni di ossidazione (divisi in forni orizzontali e forni verticali), trattamento termico rapido (RTP, RapidThermalProcessing ) attrezzatura. A causa dell'elevata temperatura operativa, anche i requisiti prestazionali dei componenti nella camera di reazione sono elevati. Le parti in carburo di silicio sinterizzato di elevata purezza hanno le caratteristiche di elevata resistenza, elevata durezza, elevato modulo elastico, elevata rigidità specifica, elevata conduttività termica, basso coefficiente di dilatazione termica, ecc. E sono parti indispensabili nella camera di reazione del trattamento termico del circuito integrato attrezzatura. Comprende principalmente la barca verticale , il piedistallo , le camere d'aria  e i deflettori per l'isolamento termico.

Allo stato attuale, la maggior parte della quota di mercato del carburo di silicio sinterizzato di elevata purezza per apparecchiature a semiconduttore è dominata principalmente da società straniere come il gruppo giapponese Kyokera e gli Stati Uniti Quastai. Attraverso l'accumulo e l'innovazione tecnologica a lungo termine, hanno sviluppato non solo una gamma completa di prodotti, ma anche la tecnologia di lavorazione delle proprietà dei materiali, della precisione e della struttura complessa ha raggiunto il livello leader del settore. Può fornire componenti speciali per apparecchiature principali di circuiti integrati come macchine per fotolitografia, apparecchiature per incisione al plasma, apparecchiature per la deposizione di film e apparecchiature per l'impianto di ioni.